臭氧-生物活性炭工藝結合了臭氧工藝和生物活性炭工藝，凈水前通過臭氧預氧化，對于無機物，臭氧在水中可以有效地將其中的溶解性鐵，錳等無機離子轉化成難溶解性氧化物從水中沉淀出來，從而在混凝沉淀與過濾中去除。而對于有機物，臭氧分子與有機污染物間的直接氧化作用緩慢且有明顯的選擇性反應。另一種是臭氧被分解后產生羥基自由基間接地與水中的有機物作用。在臭氧后氧化中增加水中的溶解氧，有利于后繼生物活性炭上好氧微生物的生長。

    生物活性炭濾池位于臭氧接觸池之后，活性炭因其內部具有發達的孔隙結構和巨大的比表面積從而用微孔吸附的方法去除有機物，活性炭的吸附性也可經濟有效的去除嗅，味，色度，農藥，放射性有機物及其其它人工合成有機物。由于活性炭是一種兼有吸附，觸媒和化學反應活性的多功能載體。好氧微生物群落可以分散在炭段表面，也可以成膜覆蓋在整個炭粒外表面，形成生物活性炭，這樣可以發揮生化和物化處理的協同作用，從而延長活性炭的工作周期，大大提高處理效率，改善出水水質，并能處理那些采用單純生化處理或活性炭吸附法所不能去除的污染物質。

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